Osaka University School/Graduate School of Engineering
National Institute of Advanced Industrial Science and Technology
Satoshi Kawata
OSA/SPIE student chapter
Stanford Photonics Center (SPRC)
University of Southampton ORC
Max Planck Institute Erlangen
CAS Tech Inst Phys & Chem, Beijing
ITRC, Taiwan
JSPS CORE to CORE
Osaka Photonics Initiative
Facilities
Facilities
- 微細加工
- 集束イオンビーム加工観察装置
- Gaイオンを用いたFIBです。カーボンやタングステンのデポジションも可能です。
- マスクレス露光装置
- フォトマスクを用いることなく、基板に任意の図形を露光できます。
- ディップペンナノリソグラフィ・AFM
- プローブによりナノ精度で液体を塗布する装置です。AFM測定も可能です。
- コンパクトスパッタ
- スパッタリングにより基板に薄膜を成膜します。
- プラズマクリーナー
- プラズマを使って基板表面の洗浄を行う装置です。
光学測定
- 走査型共焦点レーザー顕微鏡
- 生物分野を得意とする倒立型レーザー顕微鏡です。
- デジタルマイクロスコープ
- 5000倍までの多機能光学顕微鏡です。
- 実体顕微鏡
- 6.7倍から50倍ズームの実体顕微鏡です。
- エリプソメーター
- 薄膜の厚みや屈折率などを光を利用して測定する装置です。
- 紫外可視近赤外分光光度計
- 液体やフィルムの吸収や反射等を測定することが可能な装置です。
- マルチチャンネル分光器
- ３台の分光器と積分球で様々な計測を行えます。
- マイクロプレートリーダー
- 短時間でマイクロプレートに入れた試料の吸光度測定が可能な装置です。
表面評価
- 走査型プローブ顕微鏡
- 生物分野を得意とする倒立型レーザー顕微鏡です。
- レーザー干渉計
- 平面及び球面を測定するレーザー干渉計です。
- 触針式段差計
- ダイヤモンド探針によるサーフェスプロファイラーです。
分析
- SEM-EDX
- 電子顕微鏡です。元素分析を行うことも可能です。
- 広視野ラマン顕微鏡
- 実体顕微鏡ベースのラマン顕微鏡です。
- ゼータ電位・粒径分布測定装置
- 溶液中の微粒子の粒径分布や、ゼータ電位、タンパク量を測定する装置です。
- サーマルサイクラー
- 温度制御を行いポリメラーゼ連鎖反応によりDNA断片を複製させるための装置です。
